厦门天马联合研发国内首台新型TFT曝光机

本会会员单位厦门天马微电子有限公司（以下简称“厦门天马”）近期完成国内首台新型显示用6代高分辨率TFT曝光机的吊装搬入，标志着我国新型显示行业的装备国产化研制取得重大突破。

新型显示是信息产业重要的战略性和基础性产业，高分辨率TFT曝光机则是新型显示行业中生产显示器件的关键核心工艺设备。长期以来，由于该设备依赖进口，导致购买周期长、价格居高不下、供应稳定风险高。作为新型显示领域的领先企业，厦门天马积极联合国内设备制造商，进行关键核心工艺设备的国产化探索与尝试。自2016年起，厦门天马与上海微电子装备（集团）股份有限公司达成战略合作，联合进行国产TFT曝光机的开发与研制。目前，这台由我国自主研制的曝光机已在厦门天马安装、调试，打破了国外垄断。

　　业界指出，尽管我国新型显示发展迅猛，但核心设备的国产化一直是短板。此次6代高分辨率TFT曝光机的国产化，标志着我国新型显示行业自主创新能力进一步得到提升，有利于加强我国新型显示行业的核心竞争力。

　　厦门天马方面表示，未来，天马将持续进行新型显示制造装备国产化的探索，全面提升核心自主技术竞争实力，力争加速成为全球显示领域领先企业。